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                LACO TitanTestᵀᴹ T100M(30m³/h Dry)大抽速移动式氦质谱检漏仪(干式)

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                LACO TitanTestᵀᴹ T100M(30m³/h Dry)大抽速移动式氦质谱检漏仪(干式)

                发布日期:2018-01-15 00:00 来源: 点击:

                LACO TitanTest™ T100M(30m3 /h Dry)

                移动式大抽速高性能氦质谱检漏仪(订货号:TITAN100M-30D

                         LACO Titan T100(30m3/h Dry) 移动无油干式氦气检漏仪,配置30m3/h 干式涡旋泵,适合洁净生产环境之严苛需求以及中到大工件的检测,且一般不需要外置辅助真空泵。可以广泛应用于半导体、医疗、科研、实验等需求。 

                        通过结合较高氦气抽气能力和高进气口压力的合理真空结构, Titan T100(30m3/h Dry)提供的前所未有的泄漏率检测达 < 5x10-12 mbar.L/sec。

                 图1:LACO Titan T100M(30m3/h) 大抽速移动式氦质谱检漏仪

                一、技术规格

                项目描述
                可检测气体4He, 3He, H2
                最小可检测漏率真空法4He: <5x10-13pa.m3/s(5x10-12mbar.L/s)
                3He: <5x10-11pa.m3/s(5x10-10mbar.L/s)
                H2: <5x10-9pa.m3/s(5x10-8mbar.L/s)
                吸枪法4He, 3He, H2: <x10-9pa.m3/s(5x10-8mbar.L/s)
                独立吸枪接口(不占用真空口)
                检测模式Gross(粗检), Fine(精检), Ultra(超精检)
                检测方法真空(Vacuum),吸枪(Sniff),自动检测(Auto)
                入口法兰KF25
                最大入口压力25mbar
                分子泵抽速2.5l/s (SplitFlow 80)
                前级泵抽速30m3/h涡旋泵
                响应时间真空(63% signal):0.3s
                吸枪(3m):<1s
                自检内置标准漏孔(NIST可跟踪证书),温度系数0.1%/℃,可忽略温度修正
                支持Gross, Fine, Ultra三种模式校准,确保测试精度
                启动时间≤3min
                采样频率20Hz
                接口RS232 or RS485, Analog Output, Discrete I/O
                工作温度 10℃ ~ 35℃
                工作电压115/230 VAC, 50/60 Hz
                重量110kg
                功耗1000W
                尺寸(mm)长726 x437 x1010推车+主机

                二、特点(Key Features)

                1)业界先进的全量程测量的精确性与一致性(演示视频)

                T100提供先进的全量程测量的精确性与一致性。 

                性能演示视频1(真空法,Vacuum);LACO Titan T100业界先进的全量程测量的精确性与一致性
                (8个标准漏孔,,E-12 ~E-5mbar.L/sec, 8个量级,全量程线性一致性和精确性检测极限测试)

                 

                性能演示视频2(吸枪法,Sniffer);LACO Titan T100业界先进的全量程测量的精确性与一致性
                (一组标准漏孔,,E-8 ~E-5mbar.L/sec, 4个量级,全量程线性一致性和精确性检测极限测试)

                2)三种测试模式:Gross(粗检), Fine(精检), Ultra(超精检)

                3)高入口压力:25mbar,快速进入检测

                4)自检:T100内置NIST可跟踪证书的标准漏孔,温度补偿仅为0.1%/℃;支持在三种模式下(Gross, Fine, Ultra)自动校准确保每种模式下测量的准确性。

                5)长寿命氧化钇涂层铱双离子源灯丝:3年质保 

                                                          图2:配套设备-T100一揽子综合解决方案

                三、应用领域(Application Scenarios)

                ◆科学研究:

                Electron microscopy – 电子显微镜

                Mass spectrometry – 质谱

                Surface analysis – 表面分析

                Plasma monitoring – 等离子体监测

                Residual gas analysis – 残余气体分析

                ...

                半导体

                Lithography锂电池

                PVD /CVD

                Plasma etching等离子刻蚀

                MBE 分子束外延

                镀膜

                Hard disk coating – 硬盘镀膜

                Photovoltaics – 光伏

                Glass coating (PVD) – 玻璃镀膜

                Optical coating (PVD) – 光学镀膜

                Wear protection (PVD, CVD) –硬质涂层

                Web coating – 卷绕镀膜

                ◆工业

                Medical technology – 医学技术

                Industrial leak detection – 工业检漏

                Electron beam welding – 电子束焊接

                Lamp /tube manufacturing – 灯管制造

                Automobile –汽车制造

                Aerospace-航天航空

                科学研究

                Nuclear research – 核研究

                Fusion technology – 聚变技术

                Plasma research – 等离子研究

                Nanotechnology – 纳米技术

                Biotechnology – 生物技术

                 

                四、常用订货号

                项目描述订货号
                LACO TitanTest™  T100检漏仪
                T100 Wet便携式检漏仪T100便携式检漏仪,油式,45kgTITAN100W
                T100 Dry便携式检漏仪
                T100便携式检漏仪,无油干式,38kg
                TITAN100D
                T100M(16m³/h Wet)移动式检漏仪主机模块+推车+16m³/h旋片泵,油式检漏仪TITAN100M-16W
                T100M(30m³/h Wet)移动式检漏仪主机模块+推车+30m³/h旋片泵,油式检漏仪TITAN100M-30W
                T100M(15m³/h Dry)移动式检漏仪主机模块+推车+15m³/h涡旋泵,无油干式检漏仪检漏仪TITAN100M-15D
                T100M(30m³/h Dry)移动式检漏仪主机模块+推车+30m³/h涡旋泵,无油干式检漏仪检漏仪TITAN100M-30D
                常用配件
                有线控制模块(4m有线)Wired Remote Control RC 800, 13 ft (4 m) Cable IncludedTR100
                无线控制模块(100m无线)Wireless Remote Control RC 800 WL, Up to 330 ft (100 m)TR101
                WIFI发射模块WiFi Adapter for TitanTest™ Communication ModuleTCM-WIFI
                通信模块TitanTest™ Communication Module with Data Logging / EthernetTCM50
                通信模块(加打印)TitanTest™ Communication Module with Data Logging / EthernetTCM50-PT
                二维码扫描枪Barcode Reader for TitanTest™ Communication ModuleTCM-BC
                3m吸枪Sniffer Probe - 10 ft (3 m)LSP-01N-10
                10m吸枪Sniffer Probe - 33 ft (10 m)LSP-01N-33
                3m增强吸枪(清零+显示)Enhanced Sniffer Probe - 10 ft (3 m), Pass/Fail + Zero Function, Rigid TipT2003
                10m增强吸枪(清零+显示)Enhanced Sniffer Probe - 33 ft (10 m), Pass/Fail + Zero Function, Rigid TipT2010
                喷枪(带620cc气瓶+减压阀)Helium Spray Probe - 10 ft (3 m) Poly tube with Regulator and 620cc ReservoirLHSP07
                入口滤芯Inline NW25 Filter Housing with 40 Micron Sintered Bronze ElementLVF-E-NW25-40-10
                内置校准漏孔Internal Helium Leak Standard for TitanTest™, Low 10-7 mbarL/secCM102492
                外置校准漏孔-7External Helium Leak Standard, Low 10-7 mbarL/s NW25, Manual ValveCM51L-71111V0/4
                外置吸枪校准漏孔-4Sniffer Helium Leak Standard, 5 x 10-4 mbarL/sec, Pressure Gauge, Refill ValveCM515.0-4102DAG/4

                相关标签:氦质谱检漏仪,检漏仪,氦气,T100,LACO,雷科,Titan,氦气测漏仪,氦气检漏仪,标准漏孔

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