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            视频:氦质谱检漏仪标定与校准 两种检漏仪对比

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            视频:氦质谱检漏仪标定与校准 两种检漏仪对比

            发布日期:2017-01-10 00:00 来源: 点击:

            氦质谱检漏仪标定与校准 两种检漏仪对比

             

                                                                             (美国雷科T100与阿尔卡特adixen ASM142)


             

                     外置标准漏孔是检验氦质谱检漏仪准确性的标准。氦质谱检漏仪是对比性测试仪器,其工作原理是对进入质谱室的氦气分子电离,轰击靶心产生电离,并放大,通过电流大小的判断氦气分子的多少!进入质谱室氦气分子的比例(分流比),还有电气参数的不同,电流相同,漏率可能不同;或漏率不同,电流相同;所有检漏仪本身并不知道放大后的电流对应的漏率是多少,需要参照物,这个参照物就是标准漏孔。

             

                      这个视频用4个标准漏孔(E-6,-7,-8-,9,单位:mbar.l/s)对两台检漏仪进行标定并给出结果。其中阿尔卡特adixen ASM142在自检通过后,-7,-8,-9比较准确,但-6出现了严重偏差,如果这台检漏仪去检测合格率为-6量级的工件,会产生严重误判。但这不意味这台检漏仪不能工作。这个时候,正确的办法是用-6的漏孔对该检漏仪进行外部校准,用校准好的检漏仪再去检测工件就没有问题。另一台检漏仪是美国雷科LACO T100氦质谱检漏仪,这台检漏仪在每个量级都表现了极高的准确性和一致性。其中的差别是T100检漏仪不再象ASM142这样的用线性拟合的方式,而是充分利用CPU的运算能力以及存储能力,针对各种电位参数,分流比等情况的大量的匹配工作,从而保障检漏仪的精确性。这代表了当前业绩氦质谱检漏仪的先进水准!

             

             

            相关标签:氦质谱检漏仪

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